1., 總結(jié)了微機(jī)械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動技術(shù)，推導(dǎo)了計(jì)及邊緣效應(yīng)的梳狀靜電驅(qū)動器靜電力公式。

2.總結(jié)了微機(jī)械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動技術(shù)，推導(dǎo)了計(jì)及邊緣效應(yīng)的梳狀靜電驅(qū)動器靜電力公式。

3.交流變頻電驅(qū)動鉆機(jī)采用VFD驅(qū)動和數(shù)字控制技術(shù)，可簡化絞車結(jié)構(gòu)，提高鉆機(jī)性能。

4.總結(jié)了微機(jī)械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動技術(shù)，推導(dǎo)了計(jì)及邊緣效應(yīng)的梳狀靜電驅(qū)動器靜電力公式。